半導体製造工程で、設備の確認やテスト用に、ダミー・テストウエーハが使用され、その汚れを除去し、研磨加工する事で、使用済みのウェーハを繰り返し使えるようにしたのが、再生ウエーハです。尚、半導体製造工程で実際に製品となるのに使用されるのは、プライムウエーハです。
