- domainフェローテックホールディングスについて
- trending_up株主・投資家の皆さまへ
- terrainESG・SDGs
- 用語集
- ニュースリリース
- プライバシーポリシー
- searchサイト内検索
- menuサイトマップ
- ご利用条件
用語集
CVD-SiC（しーぶいでぃーえすあいしー）
当社製品 関連用語
独自のCVD法製作による炭化ケイ素製品。SiCはシリコン（Si）と炭素（C）が1対1で結合した化合物で、耐摩耗性、耐熱性、耐腐食性等に優れています。半導体製造工程で用いられるウエーハボートやチューブ、シリコンウエーハの代替となるダミーウエーハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。