真空中で金属や酸化物などを蒸発させて、素材の表面に蒸発、昇華した粒子（原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する装置のこと。代表的な3種類の方法として、抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビーム加熱があります。
