高熱処理や化学処理が頻繁に行われる半導体製造工程において、超高純度のシリカガラスからなる石英製品は当社の主力製品の一つです。ウエーハの薄膜生成や拡散プロセス、その他搬送、洗浄工程などの治具、消耗材として利用され、微細化、高純度化の進む半導体プロセスにおいて重要な役割を担っています。
