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用語集
真空シール（しんくうしーる）
当社製品 関連用語
磁性流体を利用し、真空雰囲気内への回転導入機としての役割を担う真空シールは、半導体・FPD・LED・太陽電池各製造装置の機能部品です。フェローテックのコア製品であり、半導体ウエーハのエッチングや成膜、FPDのパネル搬送用ロボッ卜の回転機構部等に導入され、不純物のない密閉空間を確保し、チャンバー内部等の加工に必要な動力を伝える役割も果たします。