半導体製造プロセスにおいて、シリコンウエハーに熱を加え、化学反応や物理的な現象を促進させること。バッチ式を、ホットウォール型と言い、石英製の大きな管（チューブ）の中に、ボートと呼ばれる治具の上に乗せたウェーハを複数枚入れて、チューブの外から熱を加えて加熱する方法です。
