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用語集
シリコンパーツ（しりこんぱーつ）
当社製品 関連用語
高純度ポリシリコン製治具を初めて可能にしたSiFusionTM 製品はウェーハの成膜や拡散プロセスにおいて、使用時間の延長と稼働率向上、洗浄回数の削減などを実現し、お客様のトータルコスト削減に貢献します。 当社のシリコンパーツは、半導体製造のエッチング工程でも使用され、当社では独自の引上技術を用いたシリコン素材の提供も担っています。