用語集

コータ・デベロッパ（こーた・でべろっぱ）

半導体設備 関連用語

感光剤の塗布と現像を行う半導体製造装置のことです。 ウェーハ上にフォトレジストを塗布した後、露光装置により微細な回路パターンが転写され作られます。

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